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Furness测漏仪实验步骤

日期:2019-11-13 07:34
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摘要:

Furness测漏仪实验步骤
A.抽真空时间
启动机械帮浦,接下来开启粗略真空阀门,以每20秒纪录压力到torr,启动涡轮分子帮浦,等候帮浦转速达到额定转逤,开启真空阀门,
以每20秒纪录压力,直至压力在torr。
软体模拟部份:量测腔体至机械帮浦之管长、弯管内径及管径,建立切换器管路,接着设置抽气区间之起始压力、**压力及腔体容积,依
据厂商提供之机械帮浦及涡轮帮浦抽气速率,做为抽气帮浦的设置,将所量测之腔体面积、漏气率及不锈钢材质释气系数对气体负载设置。
比较实验值与软体模拟值的结果。

B.利用压力回升法、氦气测漏仪计算腔体漏气率
压力回升法:启动机械帮浦抽至torr接着开启高真空阀门与管路阀门以涡轮分子抽至高真空,当压力达到torr,关闭高真空阀门与管路阀门,
以每小时为单位纪录腔体压力变化量。
氦气测漏法:将真空切换器与氦气测漏仪破大气后,两者以管路相连接,把真空切换器抽至高真空1x mbar,于腔体外围将氦气由下往上喷于系
统衔接处,以氦气测漏仪量测氦气漏率以求得腔体漏气率。将两者实验结果做比较讨论。

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